![]() PMS 在芯片行业的角色，可以概括为 “良率的早期预警系统”。一颗缺陷粒子落在晶圆上，可能是一整片 die 报废；而粒子来自哪里 —— 洁净室空气、清洗用的化学品、超纯水、特气管道、还是分子级污染物（AMC，比如氨、酸性气体、胺类）—— 必须靠分介质、分点位的连续监测才能定位。PMS 的产品线正是按这几个介质切分的：空气侧有 Lasair、IsoAir、Airnet、NanoAir；液体侧有 LiQuilaz、Chem 20、Ultra DI、HSLIS；气体侧有 HPGP 101-C；分子污染有 AirSentry II；微生物侧有 BioLaz、BioCapt、MiniCapt。所有数据最终汇入 FacilityPro 设施监测系统，形成带时间戳的污染趋势曲线。 技术上有两个指标值得记住：一是灵敏度，其空气计数器可做到真 0.1 µm（Lasair III 110），超纯水侧做到 20 nm（Ultra DI 20 Plus），气溶胶侧靠凝结核计数做到 10 nm（NanoAir 10）；二是合规性，产品普遍符合 ISO 21501-4 校准规范，可直接用于 ISO 14644 洁净室分级、EU GMP 与中国 GMP 的认证取证。
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